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Solmates PiezoFlare 800 脉冲激光沉积(PLD)设备【德国】

交易截止日期:2018年10月31日收藏

受客户委托,出售一台Solmates PiezoFlare 800 脉冲激光沉积(PLD)设备。资产位于德国。


产线于约6个月前停止生产

立即接受报价


主要设备:

- Solmates PiezoFlare 800脉冲激光沉积(PLD)设备

年份:2013

设备储存于100级洁净室中

原用于MEMS生产

最大晶圆 150mm — 200mm.  


- 制程:

压电MEMS: PZT (PbZrTiO3, LaNiO3)

气体敏感性:金属氧化物 (CuO, SnO2, ZnO, In2O3)


- 主要技术参数:

基板尺寸:6" -- 8"

4 targets,可调

最高衬底温度:800 °C

制程压力:0.5 –0.005 mbar with O2, Aror N2

液滴捕集器,减少晶圆表面微粒

248 nm KrF-laser (100 Hz, 700 mJ/pulse, 25 ns pulse duration)


部分现场照片如下,您可点击图片进入我司全球网站了解详情并参与交易:

  


如需看货,请提前预约


项目联系人:

Andy Hackett

电话:+44 (0)207 098 3792

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