受客户委托，出售一台Solmates PiezoFlare 800 脉冲激光沉积（PLD）设备。资产位于德国。

产线于约6个月前停止生产

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主要设备：

- Solmates PiezoFlare 800脉冲激光沉积（PLD）设备

年份：2013

设备储存于100级洁净室中

原用于MEMS生产

最大晶圆 150mm — 200mm.  

- 制程：

压电MEMS: PZT (PbZrTiO3, LaNiO3)

气体敏感性：金属氧化物 (CuO, SnO2, ZnO, In2O3)

- 主要技术参数：

基板尺寸：6" -- 8"

4 targets，可调

最高衬底温度：800 °C

制程压力：0.5 –0.005 mbar with O2, Aror N2

液滴捕集器，减少晶圆表面微粒

248 nm KrF-laser (100 Hz, 700 mJ/pulse, 25 ns pulse duration)

部分现场照片如下，您可点击图片进入我司全球网站了解详情并参与交易：

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项目联系人：

Andy Hackett

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